3分間露光の結果、点状に強い汚染があることが確認された。10分間露光の結果を確認したが、3分間露光で確認された汚染の箇所以外の箇所では汚染は確認されなかった。これらを踏まえ2WEL2102Aにおいては、この板状試料を小片に切り取ってFE-SEM分析に供した。
2WEL2102A IP測定結果(外観観察結果と左右逆像)